用途：在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。 
技術(shù)特點(diǎn)： 
◆ 采用3500W直流高壓汞燈；◆ 采用蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明； 
◆ 實(shí)現(xiàn)超大面積光刻；　　　◆采用CCD自動對準(zhǔn)，自動化程度高； 
◆ 性能可靠、操作方便。 
主要技術(shù)指標(biāo)： 
★ 曝光面積：430 mm×430 mm；　
★ 分辨力：3μm； 
★ 對準(zhǔn)精度：≤±1μm ；　　　　　　
★ 掩模尺寸：16英寸、17英寸、18英寸、20英寸； 
★ 照明均勻性：±10%（430 mm×430 mm范圍）； 
★ 掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±6mm;　 Y: ±6mm;　θ: ±6度； 
 
聯(lián)系人:胡主任、唐主任 
電話:85101784、85100564