12月13日，中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)公布了2023年度“中國(guó)有色金屬十大進(jìn)展”獲獎(jiǎng)名單，中國(guó)有研所屬有研工研院“電子級(jí)超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開(kāi)發(fā)及其應(yīng)用”項(xiàng)目成功入選。

“電子級(jí)超高純金屬提純用大功率電子束熔煉裝備開(kāi)發(fā)及其應(yīng)用”項(xiàng)目聚焦我國(guó)集成電路材料關(guān)鍵裝備的“卡脖子”問(wèn)題，開(kāi)發(fā)出國(guó)內(nèi)首套滿(mǎn)足先進(jìn)集成電路超高純金屬需求的電子束熔煉裝備，在大功率高效穩(wěn)定熱陰極電子槍、多槍大功率電子束能量控制、高質(zhì)量大規(guī)格鑄錠電子束熔煉裝備集成設(shè)計(jì)等核心技術(shù)領(lǐng)域取得突破，獲得專(zhuān)利授權(quán)40余項(xiàng)，具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

該裝備達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平，并在國(guó)內(nèi)主要超高純金屬原材料生產(chǎn)單位投入使用，標(biāo)志著高端電子束熔煉裝備實(shí)現(xiàn)全面國(guó)產(chǎn)化。應(yīng)用該設(shè)備生產(chǎn)的超高純鉭、銅等材料已在先進(jìn)集成電路領(lǐng)域獲得批量應(yīng)用，保障了我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵原材料自主可控。

該項(xiàng)目入選“中國(guó)有色金屬十大進(jìn)展”，體現(xiàn)了行業(yè)對(duì)有研工研院科技創(chuàng)新實(shí)力與成果的認(rèn)可，彰顯了有研工研院對(duì)推動(dòng)行業(yè)共性技術(shù)提升、保障國(guó)家關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈安全的重要作用。有研工研院將繼續(xù)秉承“創(chuàng)業(yè)求實(shí)、創(chuàng)新致遠(yuǎn)”的核心價(jià)值觀，扎實(shí)做好科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)培育，為發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展繼續(xù)貢獻(xiàn)更大的力量。

（李其曉 公淞俏）