裝備制造業(yè)有著“生產(chǎn)機(jī)器的機(jī)器制造業(yè)”之稱，是一個(gè)國(guó)家實(shí)現(xiàn)工業(yè)化的根本保證。為了發(fā)展好這個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)，安徽瞄準(zhǔn)智能化和高端化等主要方向，注重產(chǎn)業(yè)引導(dǎo)，強(qiáng)化政策支持，有力推動(dòng)了這一產(chǎn)業(yè)又好又快發(fā)展。

這里是合肥芯碁微電子裝備有限公司的調(diào)試車(chē)間，我身后的這臺(tái)設(shè)備是企業(yè)自主研發(fā)的芯片光刻機(jī)，它能夠把只有頭發(fā)絲1/100粗細(xì)的線路刻在我們看到的這種晶圓上面，從而完成芯片生產(chǎn)最關(guān)鍵的一步，目前這種產(chǎn)品的問(wèn)世也填補(bǔ)了我國(guó)在芯片裝備生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。

光刻機(jī)被稱為生產(chǎn)集成電路的“數(shù)控機(jī)床”，雖然國(guó)內(nèi)需求很旺盛，但是研發(fā)難度非常大。為了能在這種智能裝備上取得突破，合肥芯碁微電子公司引進(jìn)了海外專家團(tuán)隊(duì)進(jìn)行攻關(guān)，通過(guò)對(duì)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)引進(jìn)吸收和創(chuàng)新，企業(yè)很快就掌握了光刻機(jī)的生產(chǎn)原理，可是在光刻機(jī)的解析精度，也就是設(shè)備對(duì)于芯片的刻線精度上，當(dāng)時(shí)國(guó)際上最細(xì)已經(jīng)做到了350納米，而他們卻始終難有進(jìn)展。

合肥芯碁微電子裝備有限公司技術(shù)總監(jiān) 李香濱

就是它的線路解析精度只能做到700納米左右，然后我們集中了公司80%以上的技術(shù)骨干進(jìn)行攻堅(jiān)，終于研制了一款新的光路系統(tǒng)，把這個(gè)解析度提高一倍。

李香濱所說(shuō)的新的光路系統(tǒng)，其實(shí)是芯碁公司率先在行業(yè)里推出的激光直寫(xiě)光刻技術(shù)，這種技術(shù)利用了數(shù)碼相機(jī)的成像原理，也就是不用膠卷，只需要把精密的算法輸入進(jìn)去，再加上自主研發(fā)的定位技術(shù)，設(shè)備就可以很智能地把芯片的線路“打印”出來(lái)。

合肥芯碁微電子裝備有限公司總經(jīng)理 方林

現(xiàn)在我們已經(jīng)推出了9個(gè)系列的光刻設(shè)備，是國(guó)內(nèi)唯一一家可以替代進(jìn)口的企業(yè)，2017年我們的目標(biāo)是1個(gè)億，一季度就已經(jīng)突破了4000萬(wàn)元。

著眼于引導(dǎo)更多像合肥芯碁一樣的企業(yè)立足技術(shù)制高點(diǎn)提升競(jìng)爭(zhēng)力，2016年，安徽以推進(jìn)智能制造工程為突破口，組織實(shí)施了141項(xiàng)重點(diǎn)智能制造項(xiàng)目，總投資近80億元，其中有7個(gè)項(xiàng)目獲得國(guó)家智能制造專項(xiàng)支持。同時(shí)，還大力推進(jìn)了206個(gè)首臺(tái)套重大技術(shù)裝備研制項(xiàng)目的實(shí)施，從今年開(kāi)始，這些制造項(xiàng)目都將陸續(xù)完成，預(yù)計(jì)可以幫助承擔(dān)這些裝備研發(fā)任務(wù)的企業(yè)新增銷(xiāo)售收入350億元左右。

安徽省經(jīng)信委裝備處處長(zhǎng) 沈忠林

推進(jìn)智能制造工程的實(shí)施，我們確定每年培育實(shí)施100個(gè)數(shù)字化車(chē)間和20個(gè)智能工廠，通過(guò)智能化改造，使我們的制造水平、制造能力得到顯著提升。

以實(shí)施智能制造為核心，為統(tǒng)籌抓好高端制造、綠色制造等“五大制造”，今年，安徽在即將實(shí)施的“制造強(qiáng)省建設(shè)行動(dòng)方案”中，將專門(mén)配套制定高含金量的“制造強(qiáng)省政策10條”，并在《中國(guó)制造2025安徽篇》確立的12大高端制造領(lǐng)域的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)培育高端裝備、電子信息等7大高端制造業(yè)，著力構(gòu)建新型制造體系。位于蚌埠市的中電科41所，正是在這些精準(zhǔn)的政策導(dǎo)向和國(guó)家10個(gè)重大科技專項(xiàng)累計(jì)2.7億元的資金支持下，于近期成功研發(fā)出了國(guó)內(nèi)首套用于5G通訊的高端測(cè)試設(shè)備，這也為5G毫米波傳輸和信號(hào)解析提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。

中國(guó)電子科技集團(tuán)第41所 高級(jí)工程師 張煜

我們國(guó)家已經(jīng)進(jìn)入5G的實(shí)驗(yàn)網(wǎng)建設(shè)階段，在這個(gè)建設(shè)階段很多環(huán)節(jié)都需要驗(yàn)證手段，我們這個(gè)系統(tǒng)就可以為毫米波傳輸?shù)募夹g(shù)難點(diǎn)提供驗(yàn)證手段，這個(gè)技術(shù)是領(lǐng)先于國(guó)際同行的。

聚力裝備工業(yè)這個(gè)重點(diǎn)領(lǐng)域，通過(guò)落實(shí)好安徽制造強(qiáng)省建設(shè)的一系列重要舉措，2016年，全省裝備工業(yè)實(shí)現(xiàn)增加值3755億元，同比增長(zhǎng)近13%，高于規(guī)模以上工業(yè)增速4.2個(gè)百分點(diǎn)。眼下，安徽正在以實(shí)施智能制造工程為核心，大力發(fā)展汽車(chē)（新能源汽車(chē)）、工業(yè)機(jī)器人兩個(gè)優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)，培育壯大通用航空、軌道交通兩個(gè)新興產(chǎn)業(yè)，建成一批智能工廠和數(shù)字化車(chē)間，力爭(zhēng)2017年，全省裝備制造業(yè)產(chǎn)值向16000億元新臺(tái)階跨越，成為推動(dòng)安徽由制造大省向制造強(qiáng)省邁進(jìn)的重要?jiǎng)幽堋?/P>