不久，一種更“給力”并實(shí)惠的能源將走入尋常百姓家。今天，首臺(tái)代表著國(guó)際尖端技術(shù)水平的薄膜太陽能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備——等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）在位于上海張江的理想能源設(shè)備公司正式下線。這臺(tái)設(shè)備的研制成功和下線，大幅降低硅薄膜電池生產(chǎn)成本，打破了高端薄膜太陽能電池設(shè)備市場(chǎng)一直被國(guó)外廠商壟斷的局面，填補(bǔ)了光伏電池高端設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的空白。中共中央政治局委員、上海市委書記俞正聲致信祝賀。

據(jù)介紹，一片約1.5平方米的普通平板玻璃完成導(dǎo)電層覆膜后，進(jìn)入PECVD反應(yīng)腔，完成化學(xué)氣象材料疊層結(jié)構(gòu)的覆膜，厚度增加了兩個(gè)微米，即成為轉(zhuǎn)化率可達(dá)10％的薄膜太陽能電池。代表第二代光伏技術(shù)的薄膜太陽能電池是在玻璃、金屬或塑料等基板上沉積很薄的光電材料形成的一種太陽能電池。它在弱光條件下仍可發(fā)電，既可應(yīng)用于大規(guī)模光伏電站，也可制成柔性及半透明電池，實(shí)現(xiàn)真正的光伏建筑一體化應(yīng)用。這種電池可大幅降低生產(chǎn)過程的能耗，具備顯著降低原料和制造成本的潛力，近年來逐漸成為光伏產(chǎn)業(yè)的熱點(diǎn)。

由該公司研制的PECVD，采用了先進(jìn)的超高頻射頻技術(shù)、真空和溫度控制技術(shù)，以及自主創(chuàng)新的自動(dòng)傳輸技術(shù)。其中采用非晶微晶雙結(jié)硅薄膜太陽能電池結(jié)構(gòu)，首次實(shí)現(xiàn)獨(dú)立多腔多片的反應(yīng)腔系統(tǒng)，大大提高了產(chǎn)能。該系統(tǒng)能夠同時(shí)處理3個(gè)反應(yīng)腔中30片的玻璃覆膜過程，并且各腔又具有單腔獨(dú)立運(yùn)作的靈活性，可以分別沉積非晶微晶薄膜，屬世界領(lǐng)先技術(shù)水平。產(chǎn)品性能可與國(guó)際一流設(shè)備媲美，售價(jià)僅為進(jìn)口設(shè)備的一半。
 

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