近日，由河南省科技廳和洛陽市科技局組織專家組對黎明化工研究院承擔(dān)的“新型電子氣體三氟化氮（NF₃）技術(shù)開發(fā)”進(jìn)行了驗收。該項目由黎明院和美國Fluorochem公司合作開展，采用直接氟化法新工藝，成功地合成了新型電子蝕刻氣體三氟化氮（NF₃），填補了國內(nèi)空白。

三氟化氮是近年來剛剛發(fā)展起來的一種新型電子材料，是信息產(chǎn)業(yè)中優(yōu)良的等離子蝕刻和清洗氣體，對硅等半導(dǎo)體材料，尤其是厚度小于1.5μm的集成電路材料，NF₃比其它氣體有更加優(yōu)秀的蝕刻速度和選擇性，而且對蝕刻表面無污染，市場應(yīng)用前景廣闊。黎明院于上世紀(jì)60年代就開始了電解制氟的科學(xué)研究，目前已經(jīng)擁有國內(nèi)最大的制氟量，達(dá)到12000噸/年。此次采取國際合作方式，利用先進(jìn)的電解制氟工藝，開發(fā)氟氣下游高端產(chǎn)品，可以豐富并優(yōu)化該院的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。目前該院合成NF₃純度已達(dá)到99.9%，超過科技計劃任務(wù)書99.7%的指標(biāo)，并達(dá)到美國APCI標(biāo)準(zhǔn)99.9%的要求。在此基礎(chǔ)上，該院正進(jìn)一步引進(jìn)消化吸收和改進(jìn)三氟化氮生產(chǎn)技術(shù)，有望在短時間內(nèi)實現(xiàn)該氟化產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。這項通過國際科技合作攻克的技術(shù)難題，生產(chǎn)應(yīng)用后將為洛陽電子材料產(chǎn)業(yè)搶占國內(nèi)外高端市場，打下堅實的基礎(chǔ)  .                                                            

                                                                                      
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