位于順義區(qū)的晶格領(lǐng)域的碳化硅晶片生產(chǎn)線上,20余臺(tái)設(shè)備晝夜不?!谏奶蓟杈уV在液體中緩緩生長,被打磨光亮后,再切割成薄如蟬翼的晶片。2025年年初,這條2024年剛落成的生產(chǎn)線產(chǎn)能有望達(dá)到2.5萬片。該企業(yè)總經(jīng)理張澤盛說:“設(shè)備24小時(shí)不停,工作人員合理排班,24小時(shí)待命,全力保障生產(chǎn)。”
當(dāng)下,以這家企業(yè)為代表的一批新材料企業(yè)正在擼起袖子加油干,新材料進(jìn)入生產(chǎn)生活的速度不斷加快。12月10日,市科委、中關(guān)村管委會(huì)表示,北京新材料創(chuàng)新優(yōu)勢(shì)保持領(lǐng)先、創(chuàng)新體系持續(xù)完善,900余家新材料高新技術(shù)企業(yè)集聚,產(chǎn)業(yè)集聚態(tài)勢(shì)初現(xiàn)。
前沿技術(shù)走出實(shí)驗(yàn)室
氮化鎵作為一種新材料,滿足了電源管理更高效、更節(jié)能、低成本的需要,解決了早期硅功率器件材料模塊體積很大的不足。中博芯擁有一條氮化鎵晶圓生產(chǎn)線,年產(chǎn)量1.5萬片。該企業(yè)總經(jīng)理張立勝說,生產(chǎn)線的核心技術(shù)來自一支北京大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)。
這只是一個(gè)縮影。目前,20余家在京高校、10余家中國科學(xué)院在京研究所設(shè)有材料類學(xué)科或研究方向,近30家在京央企有新材料布局,新材料領(lǐng)域的40余家上市企業(yè)、900余家高新技術(shù)企業(yè)集聚。
市科委、中關(guān)村管委會(huì)表示,北京在新材料科技領(lǐng)域擁有豐富的創(chuàng)新資源,圍繞先進(jìn)基礎(chǔ)材料、關(guān)鍵戰(zhàn)略材料、低維材料、前沿新材料等領(lǐng)域研發(fā)布局,不斷暢通前沿技術(shù)走出實(shí)驗(yàn)室的快速路。
新材料產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)初顯
海淀區(qū)發(fā)揮創(chuàng)新策源作用,順義區(qū)、房山區(qū)、大興區(qū)等作為產(chǎn)業(yè)主要承載區(qū),一幅新材料產(chǎn)業(yè)集聚態(tài)勢(shì)地圖正在繪成。以順義區(qū)為例,20余家相關(guān)實(shí)體企業(yè)集聚,初步形成材料、模組、封裝檢測(cè)及下游應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈布局。
晶格領(lǐng)域是碳化硅晶片產(chǎn)業(yè)鏈中的一環(huán)。張澤盛說,要完成碳化硅晶片生產(chǎn),除了晶體生長核心技術(shù),加工、檢測(cè)等制備工藝也同樣重要?!霸陧樍x區(qū),我們有很多合作伙伴。集聚效應(yīng)對(duì)各方都有助益。”他指著工廠里一臺(tái)高速工作的儀器介紹,這是減薄機(jī),“順義戶籍”,能加工異形晶片,為產(chǎn)品生產(chǎn)提供了有效幫助。
作為氮化鎵晶圓產(chǎn)業(yè)鏈的組成者,中博芯主攻方向是為晶圓“鍍膜”,實(shí)現(xiàn)電管理等功能。張立勝自信地說:“我們具備產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同能力,能解決行業(yè)的痛點(diǎn),推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展?!?/p>
“真金白銀”支持科創(chuàng)企業(yè)
相關(guān)資金支持,護(hù)航尖端科研成果提速轉(zhuǎn)化落地。5月,北京市新材料產(chǎn)業(yè)投資基金設(shè)立,整體規(guī)模100億元。
晶格領(lǐng)域是該基金支持的首個(gè)項(xiàng)目。正是因?yàn)槟玫搅诉@筆資金,開頭提到的生產(chǎn)線順利落成。張澤盛親歷了液相法碳化硅生產(chǎn)技術(shù)的成果轉(zhuǎn)化全過程。他說:“第三代半導(dǎo)體材料已走入大規(guī)模應(yīng)用階段,背后是上百億元的市場(chǎng)。目前,我們建成的液相法碳化硅生產(chǎn)線還屬于中試階段,晶片直徑完成了從2英寸到8英寸的跨越。更大的規(guī)?;a(chǎn)線已在規(guī)劃,預(yù)計(jì)建成后將具備年產(chǎn)27萬片碳化硅襯底的能力。”
中博芯也實(shí)現(xiàn)了國際市場(chǎng)的突破,成為國內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)6英寸氮化鎵射頻功放晶圓出口的中國企業(yè)。張立勝信心十足地說:“預(yù)計(jì)明年,大家的手機(jī)里就可能應(yīng)用我們公司生產(chǎn)的材料,材料的性能值得期待!”(記者 劉蘇雅)
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