7月25日，2021年度湖南省十大技術(shù)攻關(guān)“第三代半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”“8英寸集成電路成套裝備”2個項目順利通過綜合驗收。

“第三代半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項目由中國電子科技集團公司第四十八研究所（以下簡稱中國電科48所）承擔(dān)，項目突破了6英寸SiC外延生長、高溫高能離子注入機工藝性能、產(chǎn)能、穩(wěn)定性、可靠性提升等關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)了6英寸SiC外延生長設(shè)備、SiC高溫高能離子注入機國產(chǎn)化與工程化，滿足規(guī)?；慨a(chǎn)工藝要求，并具備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用能力，目前已在國內(nèi)多家第三代半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)上線應(yīng)用。項目實施期內(nèi)申請發(fā)明專利15項，發(fā)布規(guī)范標準等4項。

“8英寸集成電路成套裝備”項目由湖南楚微半導(dǎo)體科技有限公司和中國電科48所共同承擔(dān)，通過國產(chǎn)裝備、工藝和產(chǎn)品協(xié)同創(chuàng)新，實現(xiàn)8英寸集成電路成套裝備國產(chǎn)化。項目完成了43臺（套）國產(chǎn)核心工藝裝備的上線驗證，整線工藝裝備國產(chǎn)化率達95%，目前產(chǎn)線已達到2萬片/月生產(chǎn)能力，芯片良率達98%。立式爐開展了高均勻性熱場、薄膜均勻性控制技術(shù)、高精度智能傳輸技術(shù)、超潔凈微環(huán)境控制等關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，硅外延設(shè)備研發(fā)實現(xiàn)了功率器件高附著力、高膜厚均勻性、高工藝重復(fù)性等特殊工藝要求，兩類設(shè)備均完成工藝驗證并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。項目實施期間內(nèi)累計實現(xiàn)銷售收入2.05億元，申請發(fā)明專利16項。

省科技廳監(jiān)督與誠信處、高新處、省科技事務(wù)中心、長沙市科技局等相關(guān)負責(zé)人參加驗收會議。

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