計(jì)算機(jī)磁盤驅(qū)動(dòng)器、掃描探針和微引擎中廣泛應(yīng)用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）熱致動(dòng)器。這些熱致動(dòng)器依賴于多晶硅，這種材料需要高溫，并在制造過程中消耗大量的電力?？▋?nèi)基梅隆大學(xué)工程學(xué)院的研究人員找到一種替代品，用鉭制造微機(jī)電熱致動(dòng)器。這既降低了操作溫度，也降低了驅(qū)動(dòng)所需的能量消耗。研究結(jié)果發(fā)表在《自然微系統(tǒng)與納米工程》上。 　　鉭是一種稀有的難熔金屬，常用于合金中以增加強(qiáng)度和耐久性。研究人員推斷，鉭熱致動(dòng)器與硅襯底相比，熱膨脹系數(shù)較大，在相同的力和位移下，需要的功率比多晶硅少一半。鉭致動(dòng)器的工作電壓比其他熱致動(dòng)器低，與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體電路直接兼容。鉭器件幾乎可在室溫下進(jìn)行加工。   　　注：本文摘自國外相關(guān)研究報(bào)道，文章內(nèi)容不代表本網(wǎng)站觀點(diǎn)和立場(chǎng)，僅供參考。

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