2月29日-3月4日省科技廳秦水介副廳長帶領(lǐng)廳政策法規(guī)處、省生產(chǎn)力促進(jìn)中心、貴州大學(xué)相關(guān)人員赴上海、蘇州、無錫等地對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)進(jìn)行實(shí)地考察調(diào)研。
　　調(diào)研組在上海與芯謀研究、IMEC（比利時(shí)）微電子研發(fā)中心、中芯國際集成電路制造（上海）有限公司、美國博通公司、泛林半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司等行業(yè)資深專家進(jìn)行會(huì)談。還與MEMS行業(yè)的專業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)麥姆斯信息咨詢有限公司進(jìn)行深入的交流。
　　在蘇州，調(diào)研組考察了蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司旗下微納制造分公司（蘇州納米中試線）6英寸 MEMS工藝設(shè)計(jì)與加工生產(chǎn)線，以及中國科學(xué)院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業(yè)園區(qū)共同出資創(chuàng)建的中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米加工平臺(tái)。在無錫，調(diào)研組先后考察了華潤微電子有限公司、美新半導(dǎo)體（無錫）有限公司、無錫微奧科技有限公司、華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司。
　　在考察調(diào)研期間，調(diào)研組與考察單位的負(fù)責(zé)人就MEMS產(chǎn)線人才團(tuán)隊(duì)、工藝設(shè)計(jì)、生成加工、運(yùn)行維護(hù)、市場(chǎng)營銷等方面的問題進(jìn)行了充分的探討。通過此次調(diào)研，為推進(jìn)我省MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展奠定良好的基礎(chǔ)。