3月9日下午，國務委員劉延東同志參觀了“十一五”國家重大科技成就展，專門視察了國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（簡稱02專項）展區(qū)，詳細了解了02專項實施進展情況和取得的成果。全國政協副主席、科技部部長萬鋼同志陪同視察，02專項第一行政責任人、上海市副市長沈曉明同志匯報了02專項的實施情況，市科委主任壽子琪同志參加了匯報。
　　
　　作為《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》確定的16個科技重大專項之一, “極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱02專項）在“十一五”期間，已經啟動項目58項，總經費近200億元，全國參與02專項研發(fā)單位133家，分布在18個省、29個市。該項目是民口重大專項中唯一由地方政府牽頭組織實施的專項，組織實施工作一直獨具特色，在組織實施工作思路和機制創(chuàng)新方面做了很多探索，總結出多項成功經驗，各項工作進展順利，一批課題取得了突破性進展。在成套工藝和整機裝備等方面，依靠自主力量，掌握了一批制約產業(yè)發(fā)展的核心技術。目前，02專項立項研發(fā)的35種集成電路裝備、材料陸續(xù)進入大生產線考核驗證階段。23種封裝裝備和8種封裝材料已通過大生產線驗證。“十一五”期間，02專項各單位已累計申請專利4248件，研發(fā)成果實現銷售總額已超過100億元，帶動相關產業(yè)增長近千億元。